ЛИТЕРАТУРА ПО ФУНДАМЕНТАЛЬНЫМ И ПРИКЛАДНЫМ НАУКАМ
для школьников, студентов и научных работников

Каталог

Книги

/Кожитов Л.В./

Технология материалов микро- и наноэлектроники. Научное издание

Издательство:МИСИС
Год издания:2007
ISBN:978-5-87623-132-7
Кол-во страниц:544
Переплёт:Твёрдый
 618 руб.  В корзину

Рассмотрены теоретические основы и математическое моделирование процесса роста монокристаллов полупроводников из расплава с использованием теории случайных явлений для управления процессом роста бездефектных кристаллов. Представлены результаты математического моделирования равновесия фаз многокомпонентных систем, макро- и микрокинетики парофазной эпитаксии кремния и соединений АIIIВV в хлоридно-гидридном и МОС-гидридном процессах. Рассмотрены актуальные для микроэлектроники технологии получения скрытых проводящих и диэлектрических слоев в кремнии, предложен механизм их фазообразования. Показано, что развитие работ в области органических полупроводников, в том числе с фрактальными кластерами и наночастицами различных элементов в полимерах, позволяет получать материалы с особыми свойствами. С использованием современных основ материаловедения рассмотрены пути сохранения и улучшения эксплуатационных свойств монокристаллического кремния путем его термообработки и легирования. Проведен анализ результатов обработки большой группы материалов и слоев многоуровневых СБИС, на которых методом химико-механической полировки достигнута наноразмерная шероховатость поверхности без дефектов монокристаллической структуры. Книга предназначена для широкого круга научных и инженерно-технических работников, специализирующихся в области получения и исследования материалов микро- и наноэлектроники, для всех работающих в области разработки новых материалов, оптимизации технологических процессов, а также студентов и аспирантов.

Комментарии: (авторизуйтесь, чтобы оставить свой)
В корзине нет товаров
Новости
2018-08-08
УВАЖАЕМЫЕ ПОКУПАТЕЛИ! В СВЯЗИ С РЕМОНТНЫМИ РАБОТАМИ В МАГАЗИНЕ И ПРОВОДИМОЙ ИНВЕНТАРИЗАЦИЕЙ ОТПРАВКА ЗАКАЗОВ БУДЕТ ОСУЩЕСТВЛЯТЬСЯ ПОСЛЕ 22 АВГУСТА! ПРИНОСИМ ИЗВИНЕНИЯ!
2018-04-19
Уважаемые покупатели! 22 апреля 2018 г., в День открытых дверей МФТИ, магазин «Физтех-книга» в Новом корпусе МФТИ работает с 09.00 до 19.00
2018-01-31
15 ноября 2017 года Почта России повысила тарифы на внутренние посылки. Тарифы повысились практически ровно на 15%.
2017-12-28
30 и 31 декабря 2017 г., 1, 2 и 7 января 2018 г. магазин не работает. С 3 по 6 января включительно работает с 10.00 до 17.30, 8 января — с 9.00 до 19.00, с 9 января 2018 г. — по обычному расписанию.