ЛИТЕРАТУРА ПО ФУНДАМЕНТАЛЬНЫМ И ПРИКЛАДНЫМ НАУКАМ
для школьников, студентов и научных работников

Каталог

Книги

/Кожитов Л.В./

Технология материалов микро- и наноэлектроники. Научное издание

Издательство:МИСИС
Год издания:2007
ISBN:978-5-87623-132-7
Кол-во страниц:544
Переплёт:Твёрдый
 618 руб.  В корзину

Рассмотрены теоретические основы и математическое моделирование процесса роста монокристаллов полупроводников из расплава с использованием теории случайных явлений для управления процессом роста бездефектных кристаллов. Представлены результаты математического моделирования равновесия фаз многокомпонентных систем, макро- и микрокинетики парофазной эпитаксии кремния и соединений АIIIВV в хлоридно-гидридном и МОС-гидридном процессах. Рассмотрены актуальные для микроэлектроники технологии получения скрытых проводящих и диэлектрических слоев в кремнии, предложен механизм их фазообразования. Показано, что развитие работ в области органических полупроводников, в том числе с фрактальными кластерами и наночастицами различных элементов в полимерах, позволяет получать материалы с особыми свойствами. С использованием современных основ материаловедения рассмотрены пути сохранения и улучшения эксплуатационных свойств монокристаллического кремния путем его термообработки и легирования. Проведен анализ результатов обработки большой группы материалов и слоев многоуровневых СБИС, на которых методом химико-механической полировки достигнута наноразмерная шероховатость поверхности без дефектов монокристаллической структуры. Книга предназначена для широкого круга научных и инженерно-технических работников, специализирующихся в области получения и исследования материалов микро- и наноэлектроники, для всех работающих в области разработки новых материалов, оптимизации технологических процессов, а также студентов и аспирантов.

Комментарии: (авторизуйтесь, чтобы оставить свой)
В корзине нет товаров
Новости
2017-07-17
Уважаемые заказчики! В связи с сезоном летних отпусков сроки обработки отдельных заказов могут быть несколько увеличены. Приносим вам свои извинения
2017-07-03
Издательство «Физматкнига» с глубоким прискорбием сообщает, что 2 июля на 87-м году жизни скончался наш многолетний автор, профессор, доктор педагогических наук Михаил Иванович Шабунин.
2017-07-01
Магазин «Физтех-книга» в летний период (июль и август) будет работать с 9.00 до 19.00. Выходные — суббота и воскресенье.
2016-11-07
Уважаемые покупатели! У нас изменился номер телефона. Новый городской номер (499) 390-51-38.