ЛИТЕРАТУРА ПО ФУНДАМЕНТАЛЬНЫМ И ПРИКЛАДНЫМ НАУКАМ
для школьников, студентов и научных работников

Каталог

Книги

/Кожитов Л.В./

Технология материалов микро- и наноэлектроники. Научное издание

Издательство:МИСИС
Год издания:2007
ISBN:978-5-87623-132-7
Кол-во страниц:544
Переплёт:Твёрдый
 618 руб.  В корзину

Рассмотрены теоретические основы и математическое моделирование процесса роста монокристаллов полупроводников из расплава с использованием теории случайных явлений для управления процессом роста бездефектных кристаллов. Представлены результаты математического моделирования равновесия фаз многокомпонентных систем, макро- и микрокинетики парофазной эпитаксии кремния и соединений АIIIВV в хлоридно-гидридном и МОС-гидридном процессах. Рассмотрены актуальные для микроэлектроники технологии получения скрытых проводящих и диэлектрических слоев в кремнии, предложен механизм их фазообразования. Показано, что развитие работ в области органических полупроводников, в том числе с фрактальными кластерами и наночастицами различных элементов в полимерах, позволяет получать материалы с особыми свойствами. С использованием современных основ материаловедения рассмотрены пути сохранения и улучшения эксплуатационных свойств монокристаллического кремния путем его термообработки и легирования. Проведен анализ результатов обработки большой группы материалов и слоев многоуровневых СБИС, на которых методом химико-механической полировки достигнута наноразмерная шероховатость поверхности без дефектов монокристаллической структуры. Книга предназначена для широкого круга научных и инженерно-технических работников, специализирующихся в области получения и исследования материалов микро- и наноэлектроники, для всех работающих в области разработки новых материалов, оптимизации технологических процессов, а также студентов и аспирантов.

Комментарии: (авторизуйтесь, чтобы оставить свой)
В корзине нет товаров
Новости
2019-02-04
С 1 февраля наш магазин возобновил курьерскую доставку книг по Москве и дополнительно по Московской области
2018-12-28
Уважаемые покупатели! В связи с новогодними каникулами поступающие заказы будут обработаны только после 10 января 2019 г. Приносим извинения за задержку!
2018-12-24
В дни новогодних праздников магазин (и пункт выдачи заказов) работает по следующему графику. С 30.12.2018 по 02.01.2019 включительно — выходные дни. С 3 января 2019 г. по 5 января 2019 г. — по расписанию субботы (с 9.00 до 17.30). 6 января и 7 января — входные дни.
2018-08-08
УВАЖАЕМЫЕ ПОКУПАТЕЛИ! В СВЯЗИ С РЕМОНТНЫМИ РАБОТАМИ В МАГАЗИНЕ И ПРОВОДИМОЙ ИНВЕНТАРИЗАЦИЕЙ ОТПРАВКА ЗАКАЗОВ БУДЕТ ОСУЩЕСТВЛЯТЬСЯ ПОСЛЕ 22 АВГУСТА! ПРИНОСИМ ИЗВИНЕНИЯ!