ЛИТЕРАТУРА ПО ФУНДАМЕНТАЛЬНЫМ И ПРИКЛАДНЫМ НАУКАМ
для школьников, студентов и научных работников

Каталог

Книги

Металлизация ультрабольших интегральных  схем: учебное пособие Громов Д.Г., Мочалов А.И., Сулимин А.Д. БИНОМ.ЛЗ 2009
/Громов Д.Г., Мочалов А.И., Сулимин А.Д./

Металлизация ультрабольших интегральных схем: учебное пособие

Издательство:БИНОМ.ЛЗ
Год издания:2009
ISBN:978-5-94774-904-5
Кол-во страниц:277
Переплёт:Твёрдый
 279 руб.  В корзину

Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.

Комментарии: (авторизуйтесь, чтобы оставить свой)
В корзине нет товаров
Новости
2020-03-24
Уважаемые клиенты! Пожалуйста, не волнуйтесь! В условиях эпидемии коронавируса наш интернет-магазин продолжает работать в обычном режиме.