ЛИТЕРАТУРА ПО ФУНДАМЕНТАЛЬНЫМ И ПРИКЛАДНЫМ НАУКАМ
для школьников, студентов и научных работников

Каталог

Книги

Металлизация ультрабольших интегральных  схем: учебное пособие Громов Д.Г., Мочалов А.И., Сулимин А.Д. БИНОМ.ЛЗ 2009
/Громов Д.Г., Мочалов А.И., Сулимин А.Д./

Металлизация ультрабольших интегральных схем: учебное пособие

Издательство:БИНОМ.ЛЗ
Год издания:2009
ISBN:978-5-94774-904-5
Кол-во страниц:277
Переплёт:Твёрдый
 279 руб.  В корзину

Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.

Комментарии: (авторизуйтесь, чтобы оставить свой)
В корзине нет товаров
Новости
2019-02-04
С 1 февраля наш магазин возобновил курьерскую доставку книг по Москве и дополнительно по Московской области
2018-12-28
Уважаемые покупатели! В связи с новогодними каникулами поступающие заказы будут обработаны только после 10 января 2019 г. Приносим извинения за задержку!
2018-12-24
В дни новогодних праздников магазин (и пункт выдачи заказов) работает по следующему графику. С 30.12.2018 по 02.01.2019 включительно — выходные дни. С 3 января 2019 г. по 5 января 2019 г. — по расписанию субботы (с 9.00 до 17.30). 6 января и 7 января — входные дни.
2018-08-08
УВАЖАЕМЫЕ ПОКУПАТЕЛИ! В СВЯЗИ С РЕМОНТНЫМИ РАБОТАМИ В МАГАЗИНЕ И ПРОВОДИМОЙ ИНВЕНТАРИЗАЦИЕЙ ОТПРАВКА ЗАКАЗОВ БУДЕТ ОСУЩЕСТВЛЯТЬСЯ ПОСЛЕ 22 АВГУСТА! ПРИНОСИМ ИЗВИНЕНИЯ!