ЛИТЕРАТУРА ПО ФУНДАМЕНТАЛЬНЫМ И ПРИКЛАДНЫМ НАУКАМ
для школьников, студентов и научных работников

Каталог

Книги

Металлизация ультрабольших интегральных  схем: учебное пособие Громов Д.Г., Мочалов А.И., Сулимин А.Д. БИНОМ.ЛЗ 2009
/Громов Д.Г., Мочалов А.И., Сулимин А.Д./

Металлизация ультрабольших интегральных схем: учебное пособие

Издательство:БИНОМ.ЛЗ
Год издания:2009
ISBN:978-5-94774-904-5
Кол-во страниц:277
Переплёт:Твёрдый
 279 руб.  В корзину

Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.

Комментарии: (авторизуйтесь, чтобы оставить свой)
В корзине нет товаров
Новости
2017-07-17
Уважаемые заказчики! В связи с сезоном летних отпусков сроки обработки отдельных заказов могут быть несколько увеличены. Приносим вам свои извинения
2017-07-03
Издательство «Физматкнига» с глубоким прискорбием сообщает, что 2 июля на 87-м году жизни скончался наш многолетний автор, профессор, доктор педагогических наук Михаил Иванович Шабунин.
2017-07-01
Магазин «Физтех-книга» в летний период (июль и август) будет работать с 9.00 до 19.00. Выходные — суббота и воскресенье.
2016-11-07
Уважаемые покупатели! У нас изменился номер телефона. Новый городской номер (499) 390-51-38.